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單晶金剛石的層流等離子體的制備方法

關(guān)鍵詞 單晶金剛石 , 層流等離子體 , 制備|2012-03-09 09:05:12|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 專利號:CN102230216A申請人:中國科學(xué)院研究生院一種單晶金剛石的層流等離子體的制備方法,屬于單晶金剛石的制備技術(shù)領(lǐng)域。通過調(diào)控等離子體的流體特性,構(gòu)建出穩(wěn)定的層流等離子體...

  專利號:CN102230216A

  申請人:中國科學(xué)院研究生院

       一種單晶金剛石層流等離子體制備方法,屬于單晶金剛石的制備技術(shù)領(lǐng)域。通過調(diào)控等離子體的流體特性,構(gòu)建出穩(wěn)定的層流等離子體邊界層,使單晶金剛石能夠在大尺寸襯底上進行穩(wěn)定生產(chǎn)。從而避免當(dāng)前直流等離子體沉積單晶金剛石的多晶化和小尺寸襯底的問題。優(yōu)點在于提供了一條適合采用大尺寸籽晶、穩(wěn)定制備單晶金剛石的途徑,使單晶金剛石穩(wěn)定生產(chǎn)區(qū)尺寸在等離子體運動軸線方向達到7cm,并有效抑制了單晶生長表面的多晶化。

 

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