| 名稱 | 制備類金剛石薄膜的裝置 | ||
| 公開號 | 1266107 | 公開日 | 2000.09.13 |
| 主分類號 | C23C14/06 | 分類號 | C23C14/06;C23C14/22 |
| 申請號 | 00111881.1 | ||
| 分案原申請號 | 申請日 | 2000.03.03 | |
| 頒證日 | 優先權 | ||
| 申請人 | 中國科學院上海光學精密機械研究所 | 地址 | 201800上海市800－211郵政信箱 |
| 發明人 | 樓祺洪; 黃峰; 李鐵軍; 董景星; 魏運榮 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構 | 上海華東專利事務所 | 代理人 | 李蘭英 |
| 摘要 | 一種制備類金剛石薄膜的裝置，包括壁上帶有兩個透光窗口的真空室，真空室內置有靶材和待沉積薄膜基底。置于真空室外有用激光器作為光源發射光束經過分束鏡分成兩束光，一束為消融沉積光束經第一聚焦透鏡透過第一透光窗口會聚到真空室內的靶材上。一束為掃描光束經反射鏡，第二聚焦透鏡，旋轉反射鏡透過第二透光窗口會聚到真空室內的基底上。具有結構簡單，易于操作，獲得的薄膜質量優良，均勻而牢固。 | ||
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