| 名稱 | 一種大面積高速度熱絲化學氣相沉積金剛石的方法及設備 | ||
| 公開號 | 1160089 | 公開日 | 1997.09.24 |
| 主分類號 | C23C16/26 | 分類號 | C23C16/26;C23C16/46 |
| 申請號 | 96115163.3 | ||
| 分案原申請號 | 申請日 | 1996.03.20 | |
| 頒證日 | 優先權 | ||
| 申請人 | 中國科學院金屬研究所 | 地址 | 110015遼寧省沈陽市沈河區文化路72號 |
| 發明人 | 聞立時; 黃榮芳; 陳廣超 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構 | 中國科學院沈陽專利事務所 | 代理人 | 張晨 |
| 摘要 | 一種大面積高速度熱絲化學氣相沉積金剛石的方法，采用通常的氫與甲烷的比例，甲烷占總流量的１—１．５％，混合氣體流量１０～２００ＳＣＣＭ／ｃｍ#+[２]；保持反應區溫度在２０００～２６００℃，其特征在于：將氫氣對準鎢絲，甲烷氣對準兩根鎢絲之間的空檔均勻地吹入反應區。本發明使設備鎢絲的壽命可以得到很大提高。 | ||
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