申請號：201510241996.X
　　申請人：華僑大學
　　發明人：陸靜 徐西鵬 李東旭 王亞光 賴孟玲

　　摘要：本發明公開了一種摻雜二氧化鈦金剛石復合磨粒及其制備方法和應用，該摻雜二氧化鈦金剛石復合磨粒包括粒徑50nm～10μm的金剛石核心和二氧化鈦殼層，該二氧化鈦殼層通過恒溫水解反應制備且前驅體為硫酸氧鈦，同時該二氧化鈦殼層上共摻雜有Fe3+和N，N/Ti摩爾比為1％～13％。本發明的摻雜二氧化鈦金剛石復合磨粒可以廣泛應用在固結、半固結及游離拋光工具的制備，利用該復合磨粒制備的半固結柔性拋光工具，不僅能夠明顯提高SiC晶圓的加工效率，而且還能獲得光滑無損的表面質量。

　　主權利要求：1.一種摻雜二氧化鈦金剛石復合磨粒，其特征在于：包括粒徑50nm～10μm的金剛石核心和二氧化鈦殼層，該二氧化鈦殼層通過恒溫水解反應制備且前驅體為硫酸氧鈦，同時該二氧化鈦殼層上共摻雜有Fe3+和N，N/Ti摩爾比為1％～13％。
　　2.如權利要求1所述的一種摻雜二氧化鈦金剛石復合磨粒，其特征在于：所述N/Ti 摩爾比為1％～10％。
　　3.一種摻雜二氧化鈦金剛石復合磨粒的制備方法，其特征在于：包括如下步驟： (1)將金剛石磨粒添加到蒸餾水中進行剪切和超聲分散，形成均勻穩定的懸浮液， 該金剛石磨粒的粒徑為50nm～10μm； (2)將硫酸氧鈦加熱溶解于水中后與Fe3+溶液混合，再加入到已經溶解的NH4Cl溶 液中，形成混合溶液，該混合溶液中Fe3+的質量分數為0.1％～0.7％，N/Ti摩爾比為1％～13％； (3)將步驟(1)制備的懸浮液和步驟(2)制備的混合溶液混合均勻，邊攪拌邊進 行恒溫水解反應，反應溫度為40～55℃，反應時間為10～27小時，攪拌速度為50～75rmp； (4)將步驟(3)反應后得到的物料進行離心分離，并洗滌干燥，得到所述摻雜二氧 化鈦金剛石復合磨粒。
　　4.如權利要求3所述的一種摻雜二氧化鈦金剛石復合磨粒的制備方法，其特征在于： 所述金剛石磨粒的粒徑為50nm、100nm、250nm、500nm、1μm、3μm、5μm和10μm中 的至少一種。
　　5.如權利要求3所述的一種摻雜二氧化鈦金剛石復合磨粒的制備方法，其特征在于： 所述步驟(2)為：將硫酸氧鈦加熱溶解于水中后與Fe3+溶液混合，再加入到已經溶解的 NH4Cl溶液中，形成混合溶液，該混合溶液中Fe3+的質量分數為0.1％～0.5％，N/Ti摩爾比 為1％～10％。
　　6.如權利要求3所述的一種摻雜二氧化鈦金剛石復合磨粒的制備方法，其特征在于： 所述步驟(3)為：將步驟(1)制備的懸浮液和步驟(2)制備的混合溶液混合均勻，邊 攪拌邊進行恒溫水解反應，反應溫度為40～50℃，反應時間為12～24小時，攪拌速度為 60rmp。
　　7.權利要求1或2所述的摻雜二氧化鈦金剛石復合磨粒在固結、半固結及游離拋光 工具加工SiC晶圓中的應用。