半導體材料的代際更迭正推動電子信息技術進入新紀元。當第三代半導體(碳化硅、氮化鎵)在新能源汽車、5G通信領域大放異彩時,一場圍繞第四代超寬禁帶半導體的全球競賽已悄然展開。
第一代(硅 / 鍺)
1947 年,貝爾實驗室的鍺晶體管拉開序幕,奠定了微電子產業基礎,我們熟悉的計算機芯片就源于此。
第二代(砷化鎵/ 磷化銦)
1950 年代,化合物半導體登場,高頻性能卓越,成為通信產業的核心,手機信號傳輸全靠它。
第三代(碳化硅/ 氮化鎵)
1970 年代起,耐高壓、耐高溫的碳化硅和氮化鎵崛起,推動新能源汽車、5G 基站等領域革新。
第四代(氧化鎵/ 金剛石 / 氮化鋁)
如今,禁帶寬度超 4 eV 的 “超寬禁帶” 材料登場,開啟極端環境應用新紀元。
氧化鎵、金剛石、氮化鋁——這些禁帶寬度超過4eV的材料,憑借其耐萬伏高壓、抗千度高溫、抵強輻射的極限性能,成為6G通信、特高壓電網、深紫外光刻等尖端領域的核心突破口。而在這場關乎未來科技主導權的博弈中,中國正加速突破技術封鎖,力爭實現從“跟跑”到“并跑”的關鍵跨越。
材料競速
氧化鎵:低成本產業化的破局者
作為第四代半導體中產業化進程最快的材料,氧化鎵的巴利加優值(BFOM)高達3297,遠超碳化硅的603,特別適用于萬伏級功率轉換器件。其最大優勢在于制備成本僅為氮化鎵的1/5——通過熔體法即可生長大尺寸單晶,避免了第三代半導體所需的高壓設備。西安郵電大學于2023年在8英寸硅片上實現高質量氧化鎵外延,為兼容現有硅基產線奠定基礎;三菱電機已開發出6.5kV氧化鎵肖特基二極管,效率較碳化硅提升30%,有望應用于新能源汽車超快充系統。
金剛石:極端性能的“天花板”
自然界最高熱導率(>2000W/mK)與超高載流子遷移率(1370cm2/Vs),使金剛石成為高功率射頻芯片的理想散熱襯底。但硬度過高導致的加工難題長期制約其發展。2021年香港城市大學團隊實現金剛石9.7%彈性應變,突破“脆性魔咒”,使電子能帶調控成為可能;日本Adamant并研發出40GHz金剛石射頻功放器件,可滿足6G基站對高頻高效的嚴苛需求。
氮化鋁:深紫外光電子學的核心載體
6.0eV的極寬禁帶使其成為目前唯一可商業發射UVC波段(200-280nm)的半導體材料。蘋果公司已將其用于iPhone的5G射頻濾波器,但大尺寸單晶制備仍是全球瓶頸。松山湖實驗室突破物理氣相傳輸(PVT)技術,制備出3英寸氮化鋁晶錠(圖3-4),缺陷密度降至10?cm?2級;美國HexaTech公司壟斷2英寸以上襯底市場,單片價格高達數萬美元。
中國路徑:從技術封鎖到自主生態構建
第四代半導體已成為大國科技博弈的焦點領域。2022年8月,美國商務部將氧化鎵、金剛石單晶列入對華出口管制清單,而氮化鋁襯底早已被長期禁運。這些跡象均表明,以第四代半導體為標志的新一輪科技競賽已悄然打響。
當前,我國越發重視第四代半導體產業的布局,相關規劃已陸續上馬。在“十四五”發展規劃中,氮化鋁、氧化鎵、金剛石、氮化硼等材料的制備技術均已列入國家重點研發計劃,獲得了國家層面更多的重視與支持。我們有信心突破該領域的“卡脖子”問題。
未來已來:誰將定義下一個 “半導體時代”?
從法拉第發現半導體特性(1833 年),到藍光 LED 獲諾貝爾獎(2014 年),每一次材料突破都重塑世界。如今,第四代半導體正站在產業化前夜 —— 或許下一個十年,我們將見證:電動汽車搭載金剛石電池,續航超 2000 公里;6G 基站用氮化鋁芯片,延遲低至 1 毫秒......
這場 “超寬禁帶” 引發的科技競賽,中國已握有 “入場券”。讓我們拭目以待,看半導體材料如何繼續撬動人類文明的未來!