申請人:太原理工大學
摘要:本發明公開了一種TiNi合金表面制備金剛石涂層的方法,屬于TiNi合金表面沉積金剛石薄膜的方法,解決TiNi合金由于Ni含量較高無法生長金剛石的問題。包括以下步驟:利用雙層輝光離子滲金屬方法在TiNi合金表面滲鉬,然后利用化學氣相沉積方法進行金剛石薄膜沉積,使TiNi合金表面形成金剛石薄膜/滲鉬層復合涂層。本發明將雙層輝光離子滲金屬技術和化學氣相沉積鍍技術有機結合,工藝重復性好,質量易控,操作簡單,所制得的成品性能良好,金剛石薄膜能夠與基體有良好的結合強度,并獲得基體有效的支撐。
獨立權利要求:1.一種TiNi合金表面制備金剛石涂層的方法,其特征在于,包括以下步驟:利用雙層輝光離子滲金屬方法在TiNi合金表面滲鉬,然后利用化學氣相沉積方法進行金剛石薄膜沉積,使TiNi合金表面形成金剛石薄膜/滲鉬層復合涂層,即得成品。