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官方微信摘要 名稱從金剛石線鋸切割硅片廢料漿中回收多晶硅的方法申請號201210127930申請日2012年4月27日公開號102642837A公
| 名稱 | 從金剛石線鋸切割硅片廢料漿中回收多晶硅的方法 | ||
| 申請號 | 201210127930 | 申請日 | 2012年4月27日 |
| 公開號 | 102642837A | 公開日 | 2012年8月22日 |
| 申請人 | 河南新大新材料股份有限公司 | 地址 | 河南省開封市禹王臺區開封市精細化工園區 |
| 發明人 | 羅小軍 宋賀臣 姜維海 郝玉輝 | 主分類號 | C01B 33/037 |
| 國家/省市 | 中國河南( 41 ) | 分類號 | C01B 33/037 |
| 摘要 | 本發明涉及一種回收金剛石線鋸切割硅片廢料漿中多晶硅的方法。主要包括以下步驟：將廢料漿進行固液分離；在固體物中加入混合酸，反應１０～１２小時后脫酸，清洗至中性；以純水造漿后用旋流器分離出大部分金剛石，壓濾后得到含量為９９％的硅料，再將其分散在重液中，離心分離后用純水反復清洗；將清洗后的料漿通過大孔離子交換樹脂裝置去除離子，干燥得到９９．９９％的硅粉；硅粉壓制成塊后在多晶硅鑄錠爐中鑄錠，切除雜質，得到純度為９９．９９９９％的硅錠。本發明不同于傳統多晶硅制備及回收技術，工藝簡單、成本低廉，易于工業化生產。 | ||
| 獨立權利要求 | １．一種從金剛石線鋸切割硅片廢料漿中回收多晶硅的方法，包括以下步驟：（１）向待處理的金剛石線鋸切割硅片廢料漿中加入純水調節料漿質量百分比濃度為１０％～２０％，然后置離心分離裝置中進行離心分離，去除分離液，壓濾得到硅含量≥９０％的固體物料；（２）按照固體物料：混合酸＝１：１～２的質量比向置于反應釜中的上述固體物料加入無機混合酸，調節攪拌轉速為５０～９０ｒ／ｍｉｎ，反應溫度控制為５０～７０℃，反應１０～１２小時后脫酸，以純水清洗至中性后壓濾，得濾餅；（３）取上步所得濾餅加純水造漿，調節其料漿質量百分比濃度為２～５％，再以旋流分級裝置分離出金剛石，壓濾后得到硅含量≥９９％的硅料；（４）將上述硅料均勻分散于比重為２．４～３．５ｇ／ｃｍ３的重液中后，再以離心機對其進行離心分離，取上層硅料用純水反復清洗去除重液后，壓濾得濾餅；（５）對上步所得濾餅以純水造漿，調節其料漿質量百分比濃度至１～３％后，通入大孔離子交換樹脂裝置去除離子，壓濾后真空干燥得純度≥９９．９９％的硅粉；（６）以等靜壓機將上步所得硅粉壓制成塊，然后在多晶硅鑄錠爐中鑄錠，并切除雜質，得到純度≥９９．９９９９％的硅錠。 | ||
豫公網安備41019702003646號