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官方微信摘要 名稱用于電極的導電金剛石薄膜及其制備方法公開號1341774公開日2002.03.27主分類號C23C16/27&n
| 名稱 | 用于電極的導電金剛石薄膜及其制備方法 | ||
| 公開號 | 1341774 | 公開日 | 2002.03.27 |
| 主分類號 | C23C16/27 | 分類號 | C23C16/27;C23C16/511 |
| 申請號 | 01126424.1 | ||
| 分案原申請號 | 申請日 | 2001.08.09 | |
| 頒證日 | 優先權 | ||
| 申請人 | 中國科學院上海光學精密機械研究所 | 地址 | 201800上海市800－211郵政信箱 |
| 發明人 | 龔輝;范正修 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構 | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人 | 李蘭英 |
| 摘要 | 一種用于電極的導電金剛石薄膜及其制備方法，主要適用電化學分析和檢測時的電極。本發明的薄膜中含有硼為0.3％至0.5％，含碳量為99.5％至99.7％。采用微波增強化學氣相沉積方法制備。制備過程中，選用硅作為基底，硅基底要經過噴砂、清洗以及置入金剛石粉與酒精混合液中用超聲波作用等處理后放入沉積室內。選用氫氣和甲烷的混合氣體為碳源的反應氣體。選用1％的硼酸三甲酯和99％的氫氣的混合氣體為摻硼氣源。向沉積室內發射頻率大于2GHz的微波，使沉積室內氣體產生等離子體。控制上述氣源的流速和生長時間，就可以獲得所要求的金剛石薄膜的含量和厚度。本發明的金剛石薄膜可直接用作電極，無需依附金屬基底，不怕腐蝕，化學、機械與導電性能均良好 | ||
豫公網安備41019702003646號