申請(qǐng)?zhí)枺?01510824068.6
　　申請(qǐng)人：武漢工程大學(xué)
　　發(fā)明人：馬志斌 張?zhí)锾?高攀

　　摘要：本發(fā)明涉及金屬與金剛石焊接領(lǐng)域。一種利用微波等離子體焊接金剛石真空窗口的方法，其特征在于包括如下步驟：第一步，將金屬法蘭和金剛石窗口清洗；第二步，金屬法蘭和金剛石窗口分別涂上焊料，然后將涂有焊料的面接觸疊放，得到試樣；第三步，試樣放入焊接腔中的基片臺(tái)上，然后對(duì)焊接腔進(jìn)行抽真空，調(diào)節(jié)基片臺(tái)的位置使試樣表面低于屏蔽圓筒的上端面；第四步，使氣體吸收微波能量產(chǎn)生等離子體；第五步，調(diào)節(jié)基片臺(tái)的高度使樣品快速接觸微波等離子體；第六步，焊接完成后，得到試件；真空冷卻，去真空并取出焊接完成的試件，整個(gè)焊接工作完成。該方法顯著提高焊接質(zhì)量與穩(wěn)定性，提高金屬與金剛石的焊接效率。 　　主權(quán)利要求：1.一種利用微波等離子體焊接金剛石真空窗口的方法，其特征在于包括如下步驟：第一步，首先將金屬法蘭進(jìn)行表面機(jī)械處理，然后將金屬法蘭和金剛石窗口進(jìn)行超聲波清洗去除表面油污，干燥后待用；第二步，將第一步清洗后的金屬法蘭和金剛石窗口分別涂上焊料，然后將涂有焊料的面接觸疊放，施加壓力使金屬法蘭、焊料和金剛石窗口充分接觸，得到試樣；第三步，將第二步疊放后的金屬法蘭、焊料和金剛石窗口試樣放入焊接腔中的基片臺(tái)上，然后對(duì)焊接腔進(jìn)行抽真空，調(diào)節(jié)基片臺(tái)的位置使試樣上表面低于屏蔽圓筒的上端面；第四步，通入氣體，調(diào)節(jié)氣體流量、微波功率和氣壓，使氣體吸收微波能量產(chǎn)生等離子體；第五步，調(diào)節(jié)基片臺(tái)的位置使樣品快速接觸微波等離子體，調(diào)試焊接工藝參數(shù)保證焊料與金屬法蘭和金剛石窗口充分潤濕結(jié)合；第六步，焊接完成后，得到試件；真空冷卻，去真空并取出焊接完成的試件，整個(gè)焊接工作完成。
　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用微波等離子體焊接金剛石真空窗口的方法，其特征是：所述第一步中超聲波清洗為分別用丙酮、乙醇溶劑進(jìn)行超聲波清洗。
　　3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用微波等離子體焊接金剛石真空窗口的方法，其特征是：所述第三步中的基片臺(tái)上的試樣上表面低于屏蔽圓筒上端面的距離為3-5mm。
　　4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用微波等離子體焊接金剛石真空窗口的方法，其特征是：所述第四步中微波等離子體產(chǎn)生的工藝參數(shù)如下：氣體流量400~1000sccm，微波功率800-1400W，氣體壓強(qiáng)16-25kPa。
　　5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用微波等離子體焊接金剛石真空窗口的方法，其特征是：所述第五步中的焊接工藝參數(shù)如下：試樣的溫度為600-1000℃，保溫時(shí)間1-5min。
　　6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用微波等離子體焊接金剛石真空窗口的方法，其特征是：所述第六步中的真空冷卻時(shí)間為5-15min。