申請?zhí)枺?01510824068.6
　　申請人：武漢工程大學
　　發(fā)明人：馬志斌 張?zhí)锾?高攀

　　摘要：本發(fā)明涉及金屬與金剛石焊接領域。一種利用微波等離子體焊接金剛石真空窗口的方法，其特征在于包括如下步驟：第一步，將金屬法蘭和金剛石窗口清洗；第二步，金屬法蘭和金剛石窗口分別涂上焊料，然后將涂有焊料的面接觸疊放，得到試樣；第三步，試樣放入焊接腔中的基片臺上，然后對焊接腔進行抽真空，調(diào)節(jié)基片臺的位置使試樣表面低于屏蔽圓筒的上端面；第四步，使氣體吸收微波能量產(chǎn)生等離子體；第五步，調(diào)節(jié)基片臺的高度使樣品快速接觸微波等離子體；第六步，焊接完成后，得到試件；真空冷卻，去真空并取出焊接完成的試件，整個焊接工作完成。該方法顯著提高焊接質(zhì)量與穩(wěn)定性，提高金屬與金剛石的焊接效率。 　　主權利要求：1.一種利用微波等離子體焊接金剛石真空窗口的方法，其特征在于包括如下步驟：第一步，首先將金屬法蘭進行表面機械處理，然后將金屬法蘭和金剛石窗口進行超聲波清洗去除表面油污，干燥后待用；第二步，將第一步清洗后的金屬法蘭和金剛石窗口分別涂上焊料，然后將涂有焊料的面接觸疊放，施加壓力使金屬法蘭、焊料和金剛石窗口充分接觸，得到試樣；第三步，將第二步疊放后的金屬法蘭、焊料和金剛石窗口試樣放入焊接腔中的基片臺上，然后對焊接腔進行抽真空，調(diào)節(jié)基片臺的位置使試樣上表面低于屏蔽圓筒的上端面；第四步，通入氣體，調(diào)節(jié)氣體流量、微波功率和氣壓，使氣體吸收微波能量產(chǎn)生等離子體；第五步，調(diào)節(jié)基片臺的位置使樣品快速接觸微波等離子體，調(diào)試焊接工藝參數(shù)保證焊料與金屬法蘭和金剛石窗口充分潤濕結合；第六步，焊接完成后，得到試件；真空冷卻，去真空并取出焊接完成的試件，整個焊接工作完成。
　　2.根據(jù)權利要求1所述的一種利用微波等離子體焊接金剛石真空窗口的方法，其特征是：所述第一步中超聲波清洗為分別用丙酮、乙醇溶劑進行超聲波清洗。
　　3.根據(jù)權利要求1所述的一種利用微波等離子體焊接金剛石真空窗口的方法，其特征是：所述第三步中的基片臺上的試樣上表面低于屏蔽圓筒上端面的距離為3-5mm。
　　4.根據(jù)權利要求1所述的一種利用微波等離子體焊接金剛石真空窗口的方法，其特征是：所述第四步中微波等離子體產(chǎn)生的工藝參數(shù)如下：氣體流量400~1000sccm，微波功率800-1400W，氣體壓強16-25kPa。
　　5.根據(jù)權利要求1所述的一種利用微波等離子體焊接金剛石真空窗口的方法，其特征是：所述第五步中的焊接工藝參數(shù)如下：試樣的溫度為600-1000℃，保溫時間1-5min。
　　6.根據(jù)權利要求1所述的一種利用微波等離子體焊接金剛石真空窗口的方法，其特征是：所述第六步中的真空冷卻時間為5-15min。