申請號：201310474811

　　申請人：武漢工程大學

　　摘要：本發明屬于微波等離子體化學氣相沉積系統的領域，主要是涉及一種用于制備高質量大面積金剛石膜的微波等離子體化學氣相沉積系統。本系統主要包括真空部分和微波導入部分，真空部分包括真空腔和真空腔上蓋，真空腔上蓋的中心側表面形成不同特定尺寸的兩個凹部，使得真空腔體為多模式腔體，在基片臺上方形成由兩個模式產生的大面積能量均勻的等離子體球；微波導入部分由下到上主要包括波導、石英環、模式轉換天線，基片臺與腔體的下部結合以夾持石英環從而保持真空，模式轉換天線將微波導入至真空腔內，同時真空腔、模式轉換天線以及帶水冷的基片臺由陶瓷環固定以保持嚴格的對中。

　　獨立權利要求：1.一種大面積微波等離子體化學氣相沉積系統，該系統包括：真空腔體、上蓋、波導、模式轉換天線、基片、基片臺，其特征在于：所述的真空腔體下部具有導入微波的開口部和抽真空的抽氣口，上部具有進氣管道的接口；所述的上蓋頂部和真空腔四周設有觀察窗；上蓋上設置有不同尺寸的凹部；微波通過夾持于基片臺下方和真空腔體之間的石英環導入真空腔體內；所述的基片臺與所述上蓋水平平行，其上設置有水冷裝置。

　　2.根據權利要求書1所述的大面積微波等離子體化學沉積系統，其特征在于：所述的真空腔為多模式腔體，由不銹鋼等不易受高溫發生變形的材料制成。

　　3.根據權利要求書1所述的大面積微波等離子體化學沉積系統，其特征在于：所述的基片為鎢板、鉬板或硅片。

　　4.根據權利要求書2所述的大面積微波等離子體化學沉積系統，其特征在于：所述的模式轉換天線上端以喇叭口的形狀與水冷基片臺下端焊接，同時其與水冷基片臺和真空腔體中心對中。

　　5.根據權利要求書4所述的大面積微波等離子體化學沉積系統，其特征在于：所述的真空腔體下部設有與真空腔體中心線對中的陶瓷環。