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碳化硅薄膜以創紀錄的熱導率擊敗金剛石

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碳化硅薄膜以創紀錄的熱導率擊敗金剛石

日本研究人員已經證明,立方碳化硅薄膜的熱導率可以高于金剛石。由大阪都立大學工學研究生院的梁建波副教授和直川直徹教授領導的團隊使用熱導率評估和原子級分析表明,立方版本3C...

日期 2023-04-13   
納米晶碳化硅薄膜的低溫沉積工藝

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摘要:利用反應磁控濺射技術在純氫等離子體中100~600℃襯底溫度(Ts)下沉積出碳化硅薄膜。紅外吸收光譜和投射...

日期 2016-01-25   

在藍寶石襯底上異質外延生長碳化硅薄膜的方法

名稱在藍寶石襯底上異質外延生長碳化硅薄膜的方法公開號1369904公開日2002.09.18主分類號H01L21/3

日期 2010-12-24   

單晶碳化硅薄膜的制造方法及制造設備

名稱單晶碳化硅薄膜的制造方法及制造設備公開號1393907公開日2003.01.29主分類號H01L21/08&nb

日期 2010-12-24   
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