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納米晶碳化硅薄膜的低溫沉積工藝

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摘要:利用反應磁控濺射技術在純氫等離子體中100~600℃襯底溫度(Ts)下沉積出碳化硅薄膜。紅外吸收光譜和投射...

日期 2016-01-25   
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