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鄒廣田院士:加強研制新型金剛石CVD設備,為大尺寸、高品質材料制備奠定堅實基礎

關鍵詞 鄒廣田 , 金剛石CVD設備|2023-09-26 09:43:00|來源 Carbontech
摘要 近日,中國科學院院士、超硬材料國家重點實驗室主任鄒廣田在院士在分享時表示,金剛石是集優異的電學、光學、力學、熱學和化學等特性于一身的超寬禁帶半導體,甚至被一些學者譽為“終極半導體材...

       近日,中國科學院院士、超硬材料國家重點實驗室主任鄒廣田在院士在分享時表示,金剛石是集優異的電學、光學、力學、熱學和化學等特性于一身的超寬禁帶半導體,甚至被一些學者譽為“終極半導體材料”“終極室溫量子材料”。

       “除了禁帶寬度大,金剛石還具有熱導率高、空穴遷移率高、絕緣強度高和介電常數低等優點。”鄒廣田舉例介紹,熱導率高不僅有利于制作高功率放大器,如果以金剛石做芯片,其熱導率也可以有效緩解手機使用過程中容易發熱的問題。公開資料顯示,今年年初,使用金剛石的電力控制用半導體開發取得新進展。日本佐賀大學嘉數誠教授與精密零部件制造商日本Orbray合作開發出了用金剛石制成的功率半導體,并以1平方厘米875兆瓦的電力運行。

       “此前,由于其較高的硬度和力學特性,金剛石也被譽為‘工業牙齒’,被廣泛用于地質鉆探,非鐵金屬及合金、硬質合金、石墨、塑料橡膠、陶瓷和木材等材料的切削加工等領域,也是石油天然氣鉆井、切割鉆頭上的核心部件。”鄒廣田表示。

       在鄒廣田看來,納米尺寸金剛石未來應用領域之廣,不亞于現有傳統超硬材料。“在新應用方面,相關研發機構可以向寬禁帶半導體領域發展,解決卡脖子技術難關。”鄒廣田表示,而這也需要進一步加強研制新型CVD設備,為大尺寸、高品質金剛石晶圓制備和后硅時代電子學的發展奠定堅實基礎。

       鄒廣田還建議加強基礎研究,理論與實驗結合,從源頭上實現0到1的突破,創造更多新型超硬多功能材料,包括研究金剛石生長機理、新型催化劑和原材料、金剛石生長的詳細溫壓相圖、不同樣貌金剛石的可控設備、3D打印金剛石制品新技術等領域,為我國金剛石產業轉型提供技術支撐。

 

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