它具有硬度高、介電常數高、摩擦系數低、高耐磨性、良好的電絕緣性以及良好的化學惰性、導熱性能和較好的生物相容性而在機械耐磨涂層、微電子機械系統、光學窗口等方面具有廣闊的應用前景。
　　DLC 薄膜屬于無定形碳,形成的條件不同,結構也不同,但它們共同的特點是在空間結構上是長程無序的. 在特定的條件下,無定形碳中的碳原子可能與另外一至四個碳原子以共價鍵結合,形成一種復雜結構,這種結構是由共價鍵在空間形成的三維交叉碳原子環網絡,每個原子還因范德瓦爾斯力與較遠的原子發生作用,類金剛石薄膜就是有這種結構的碳結構的薄膜. 膜中的化學鍵主要是sp3 鍵(金剛石鍵) 和sp2 鍵(石墨鍵) . sp3 鍵的含量越高,膜層就越堅硬致密、電阻率就越高,良好的類金剛石薄膜中的sp3 鍵可達到85 % 。
　　
　　DLC 膜是由少量sp2鍵和大量sp3鍵組成的非晶碳膜。