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用巴基管作基底涂層的金剛石薄膜制造方法

關鍵詞巴基管 , 基底涂層 , 金剛石薄膜|2010-12-10 00:00:00|行業專利|來源中國超硬材料網

摘要名稱用巴基管作基底涂層的金剛石薄膜制造方法公開號1136088公開日1996.11.20主分類號C23C16/26&

名稱	用巴基管作基底涂層的金剛石薄膜制造方法
公開號	1136088	公開日	1996.11.20
主分類號	C23C16/26	分類號	C23C16/26;C23C16/46;C23C16/02
申請號	96102608.1
分案原申請號		申請日	1996.02.09
頒證日		優先權
申請人	清華大學	地址	100084北京市海淀區清華園
發明人	高志棟; 梁吉; 魏秉慶; 曾效舒; 吳德海; 王克忠; 李玉	國際申請
國際公布		進入國家日期
專利代理機構	清華大學專利事務所	代理人	章瑞溥
摘要	一種金剛石薄膜的制造方法，屬非金屬元素的制備領域。本方法是在基底上涂刷混合于苯、酚、醇等有機溶劑中的巴基管溶液，干燥后將基底放入真空室內，充入碳氫化合物氣體(CH#-[4]或C#-[2]H#-[2]）與H#-[2]的混合氣體，加熱混合氣體及基底，使碳沉積在基底上，合成金剛石薄膜。用本發明方法制造金剛石薄膜生長速度快、質量高。

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