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一種熱絲法生長金剛石的方法

關鍵詞熱絲法 , 金剛石|2010-12-10 00:00:00|行業專利|來源中國超硬材料網

摘要名稱一種熱絲法生長金剛石的方法公開號1123847公開日1996.06.05主分類號C23C16/26

名稱	一種熱絲法生長金剛石的方法
公開號	1123847	公開日	1996.06.05
主分類號	C23C16/26	分類號	C23C16/26;C30B25/00
申請號	94118524.9
分案原申請號		申請日	1994.11.29
頒證日		優先權
申請人	中國科學院物理研究所	地址	100080北京市603信箱
發明人	陳巖; 林彰達	國際申請
國際公布		進入國家日期
專利代理機構	中國科學院專利事務所	代理人	高存秀
摘要	本發明屬于化學汽相沉積技術，特別是涉及采用熱絲法汽相沉積大面積金剛石膜的方法。本發明為了有效地利用真空室，節省電耗及氣體有效的生長大面積金剛石膜，從而提供一種由一根或多根Ｗ鎢絲豎直懸掛在反應室頂，待沉積基材相對于Ｗ絲豎直懸掛在Ｗ鎢絲周圍的排列方式，通入反應介質，汽相沉積生長金剛石膜的方法。該方法可把沉積效率提高１—４倍減少電耗和反應介質，降低反應成本。

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