申請人:河南黃河旋風股份有限公司
發明人:劉建設 郭松 孟為民 曹河周 劉拾霞 劉超超 王飛山
摘要:本發明涉及金剛石表面處理技術領域,是一種金剛石表面鍍碳化鈦的制作方法,它包括以下步驟:a、抽真空,首先將金剛石置于真空離子鍍膜機的鍍膜室中,將鍍膜室抽真空至3×10-3Pa以下;b、金剛石表面清潔,要求電壓:390-410V、直流電流:1.2-1.4A、真空度:3*10-2Pa、離子源:4.8-5.2KV離子源、偏轉電壓:90-110V、時間:5-10分鐘;c、金剛石表面鍍膜,陰極:鈦金屬材料(純度為99.99%)等,這樣的方法具有金剛石碳化鈦鍍膜容易實現、鍍膜穩定、鍍膜堅實的優點。
主權利要求:1.一種金剛石表面鍍碳化鈦膜的制作方法,它在金剛石真空鍍膜機中進行,它包括以下步驟:a、抽真空首先將金剛石置于真空離子鍍膜機的鍍膜室中,將鍍膜室抽真空至3×10-3Pa以下;b、金剛石表面清潔電壓:390—410V直流電流:1.2-1.4A真空度:3*10-2Pa離子源:4.8—5.2KV離子源偏轉電壓:90—110V時間:5-10分鐘c、金剛石表面鍍膜陰極:鈦金屬材料(純度為99.99%)陽極極:金剛石粉體電壓:440—460V脈沖電流:0.8A-1.0A乙炔流量:5-6sccm偏轉電壓:180-220V高純氬氣流量:15sccm工作時間:180分鐘—200分鐘溫度:溫度280——320℃移動方式:金剛石粉移動經過上述步驟處理后可以得到表面具有樹脂膜結構金剛石。
2.根據權利要求1所述的金剛石表面鍍碳化鈦膜的制作方法,其特征是:步驟b中的電壓是400V,直流電流是1.3A,離子源是 5. KV離子源,偏轉電壓:100V。
3.根據權利要求1或2所述的金剛石表面鍍碳化鈦膜的制作方法,其特征是:步驟c中電壓是450V,脈沖電是0.9A,偏轉電壓是200V,溫度是300℃。