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有源大通道金剛石厚膜熱沉及制備方法

關鍵詞 金剛石厚膜 , 熱沉 , 制備|2010-12-22 00:00:00|行業專利|來源 中國超硬材料網
摘要 名稱有源大通道金剛石厚膜熱沉及制備方法公開號1365169公開日2002.08.21主分類號H01S5/02&nbs

 

名稱 有源大通道金剛石厚膜熱沉制備方法 
公開號 1365169  公開日 2002.08.21   
主分類號 H01S5/02  分類號 H01S5/02 
申請號 01120959.3   
分案原申請號   申請日 2001.06.21   
頒證日   優先權  
申請人 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所    地址 130022吉林省長春市人民大街140號  
發明人 廖新勝;劉云;王立軍    國際申請  
國際公布   進入國家日期  
專利代理機構 長春科宇專利代理有限責任公司    代理人 梁愛榮   
摘要   本發明屬于半導體光電子技術領域,提供一種有源大通道金剛石厚膜熱沉及制備方法,把金剛石厚膜切割成熱沉所需形狀并將其表面拋光、清洗干凈并在鍍制鈦、鎳、金薄膜并金屬化、鍍銦;熱沉包括:螺釘孔,銅板,絕緣墊,激光器陣列條,銅片,透孔,銅片。本發明將金剛石厚膜表面完全浸在由進水孔、淺槽、出水孔、水流向線組成的有源大通道的冷卻液中以獲得額外低熱阻的熱沉,提高了激光器和功率器件性能的穩定性和可靠性。廣泛用于半導體激光器、集成電路、集成光路、微波管等需要散熱功率器件 
 

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