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官方微信摘要 名稱用類金剛石碳鍍覆刃口的方法公開號1260843公開日2000.07.19主分類號C23C16/26
| 名稱 | 用類金剛石碳鍍覆刃口的方法 | ||
| 公開號 | 1260843 | 公開日 | 2000.07.19 |
| 主分類號 | C23C16/26 | 分類號 | C23C16/26 |
| 申請號 | 98806296.8 | ||
| 分案原申請號 | 申請日 | 1998.06.11 | |
| 頒證日 | 優先權 | [32]1997.6.18[33]US[31]08/878,222 | |
| 申請人 | 東北大學 | 地址 | 美國馬薩諸塞 |
| 發明人 | J·A·霍普伍德; D·L·帕帕斯 | 國際申請 | PCT.US98/12270 1998.6.11 |
| 國際公布 | WO98.58097 英 1998.12.23 | 進入國家日期 | 1999.12.16 |
| 專利代理機構 | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人 | 段承恩 |
| 摘要 | 本發明涉及在基體（22）上形成類金剛石碳膜的方法，包括的步驟為：將所述基體暴露在一種烴類氣體環境中，并且，在所述環境中，在高離子通量和可控的、低離子能量轟擊的條件下，產生電子密度大于約5×10#+[10]／cm#+[3]和覆層厚度小于約2mm的等離子體。而且，本發明還涉及一種制成品，它包括：具有一個表面的基體和在所述表面上的類金剛石碳膜，其中所述膜的硬度高于約20GPa，而且，在采用場發射掃描電子顯微鏡，在50，000X的放大倍數下觀察時，所述膜中不存在可分辨的直徑等于或大于300Ａ的晶粒 | ||
豫公網安備41019702003646號