申請?zhí)枺?01710080946.7
　　申請人：上海大學
　　發(fā)明人：王林軍 趙申潔 黃健 任兵 唐可

　　摘要： 本發(fā)明公開了一種納米金剛石薄膜制備用襯底預處理方法，利用縮水甘油的開環(huán)多分支聚合作用，在納米金剛石粉末表面形成官能團，得到在溶液中分散性極好的聚合甘油嫁接的納米金剛石粉末(ND?PG)，溶于甲醇溶液，得到用于薄膜成核的籽晶溶液，從而為異質襯底上利用微波等離子化學氣相沉積高質量納米金剛石薄膜提供了有效的方法。本發(fā)明在納米金剛石粉末表面嫁接官能團，大大增加粉末在水中的分散性，減少團聚，外圍衍生效應進一步功能化，有利于增加襯底的成核密度，提高成核質量，對制備高質量納米金剛石薄膜有很大的意義。

　　主權利要求：1.一種納米金剛石薄膜制備用襯底預處理方法，其特征在于，包括如下步驟：a.納米金剛石粉末的預處理:用質量百分比濃度不低于98％的濃硫酸和質量百分比濃度不低于60％的濃硝酸混合溶液，按照濃硫酸和濃硝酸的體積比為1：1～5：1的比例配制強酸混合液，然后將粒度為1～30nm的納米金剛石粉末加入到強酸混合液中充分混合，并在100～300℃下對金剛石粉末和強酸的混合液加熱處理1-5h，得到粉末，然后在粉末蒸干后，再加入去離子水，然后進行過濾，使得到的粉末直至呈中性后，再干燥箱烘干粉末，得到ND預處理粉末；b.聚合甘油嫁接的納米金剛石粉末的制備：取20～90mg在所述步驟a中制備的ND預處理粉末溶入3～10mL環(huán)氧丙醇溶劑中，將得到的懸濁液在不低于室溫下超聲處理1～3h，再在100～200℃下進行磁性攪拌1～10h，得到改性ND-PG凝膠，然后將改性ND-PG凝膠冷卻至不高于室溫后，再用30～100mL甲醇超聲2～8h稀釋改性ND-PG凝膠，并過濾去除多余沉淀，得到改性納米金剛石籽晶分散液；c.襯底預處理：將襯底用丙酮、乙醇進行清洗，然后利用勻膠機，將在所述步驟b中制備的改性納米金剛石籽晶分散液以3000～8000r/min的速度在襯底上旋涂3～10次，再使涂覆于襯底上的改性納米金剛石籽晶分散液的液膜干燥固化后，即得到具有改性納米金剛石籽晶表面層的復合襯底，用于在改性納米金剛石籽晶表面層上繼續(xù)生長制備納米金剛石薄膜。
　　2.根據(jù)權利要求1所述納米金剛石薄膜制備用襯底預處理方法，其特征在于：在所述步驟c中，所述襯底為金剛石材料的異質襯底。
　　3.根據(jù)權利要求1所述納米金剛石薄膜制備用襯底預處理方法，其特征在于：在所述步驟c中，所述襯底的材料為硅、玻璃或石英。