申請號：201621121129.9
　　申請人：蘇州賽爾科技有限公司
　　發明人：劉學明 冉隆光 陳昱

　　摘要： 本實用新型公開了一種金剛石輪轂型開槽晶圓劃片刀，包括圓環形刀身，其特征在于所述圓環形刀身外圓周的刃口表面等角度間隔設有若干開槽，所述開槽的兩邊與底部圓弧過渡，該過渡處R1角弧度為0.3~0.6；同時開槽兩邊與刃口表面圓弧過渡，該過渡處的R2角弧度為1.2~1.4。本實用新型的開槽利于刀片切割時的散熱和排屑，能夠提高切割速度和切割品質，并且延長劃片刀使用壽命。 　　主權利要求：1.一種金剛石輪轂型開槽晶圓劃片刀，包括圓環形刀身（1），其特征在于所述圓環形刀身（1）外圓周的刃口（2）表面等角度間隔設有若干開槽（3），所述開槽（3）的兩邊與底部圓弧過渡，該過渡處R1角弧度為0.3~0.6；同時開槽（3）兩邊與刃口表面圓弧過渡，該過渡處的R2角弧度為1.2~1.4。
　　2.根據權利要求1所述的金剛石輪轂型開槽晶圓劃片刀，其特征在于所述開槽（3）的兩邊與底部圓弧過渡，該過渡處R1角弧度為0.5；同時開槽兩邊與刃口表面圓弧過渡，該過渡處的R2角弧度為1.32。
　　3.根據權利要求1所述的金剛石輪轂型開槽晶圓劃片刀，其特征在于所述開槽（3）深度h為圓環形刀身（1）徑向寬度H的1/10~1/5。
　　4.根據權利要求1或3所述的金剛石輪轂型開槽晶圓劃片刀，其特征在于所述圓環形刀身（1）的外徑D=180~200mm，內徑d=140~160mm，所述開槽（3）寬度L為0.5~1.5mm。
　　5.根據權利要求4所述的金剛石輪轂型開槽晶圓劃片刀，其特征在于所述圓環形刀身（1）的外徑D=190~200mm，內徑d=150~160mm，所述開槽（3）寬度L為0.8~1.5mm。
　　6.根據權利要求1所述的金剛石輪轂型開槽晶圓劃片刀，其特征在于所述開槽（3）的數量為16~32個。