申請?zhí)枺?01620007770.3
　　申請人：濟南中烏新材料有限公司 山東貝斯特環(huán)境技術(shù)有限公司
　　發(fā)明人：王盛林 王篤福 王希江 王希瑋 徐昌

　　摘要：一種金剛石單晶生長腔體溫度測量裝置，包括頂錘、夾持環(huán)和溫度傳感器，頂錘設(shè)置在夾持環(huán)的端部，溫度傳感器封裝在夾持環(huán)內(nèi)。溫度傳感器通過引線連接至溫度測量儀表或模塊，在金剛石單晶生長腔體的前后左右四面各設(shè)置一個上述測溫裝置。頂錘感知生長腔體內(nèi)的溫度，通過夾持環(huán)內(nèi)的溫度傳感器測量該溫度，根據(jù)該溫度與生長腔體1內(nèi)實際溫度的相關(guān)性，從而得到腔體內(nèi)的溫度。該裝置測量過程簡單，成本低，通過測量頂錘溫度，根據(jù)該溫度與腔體內(nèi)實際溫度的相關(guān)性，從而得到腔體內(nèi)的溫度，不直接測量處于高溫高壓條件下的腔體內(nèi)溫度。 　　主權(quán)利要求：1.一種金剛石單晶生長腔體溫度測量裝置，其特征是：包括頂錘、夾持環(huán)和溫度傳感器，頂錘設(shè)置在夾持環(huán)的端部，溫度傳感器封裝在夾持環(huán)內(nèi)。
　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石單晶生長腔體溫度測量裝置，其特征是：所述頂錘與夾持環(huán)的結(jié)合處呈弧形。
　　3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石單晶生長腔體溫度測量裝置，其特征是：所述夾持環(huán)內(nèi)設(shè)置有冷卻水道，溫度傳感器位于冷卻水道的上方。
　　4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石單晶生長腔體溫度測量裝置，其特征是：所述溫度傳感器的封裝孔底部設(shè)置有銅墊片。