申請人:鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司
發明人:王沛 王志強
摘要:本發明公開了一種拋光液中納米金剛石團聚體形貌修整方法,屬于超精密拋光技術領域。該方法包括以下步驟:取納米金剛石拋光液、金剛石微粉和陶瓷球混合,拋光液中納米金剛石與金剛石微粉、陶瓷球的質量比為1:2~5:0.1~0.5,加入研磨緩沖劑,球磨,即可。球磨過程中陶瓷球主要賦予金剛石微粉作用力,使金剛石微粉與納米金剛石團聚體發生碰撞、擠壓,對團聚體表面進行小幅度研磨,并將團聚體上的突出部分(因團聚方式不同造成團聚形貌不規整)移除,使其形貌更接近球形,從而達到形貌修整目的。修整后再通過離心、過濾的方式將微米級金剛石與納米級金剛石團聚體分離,得到可直接用于藍寶石晶片拋光加工的納米金剛石拋光液。
主權利要求:1.拋光液中納米金剛石團聚體形貌修整方法,其特征在于:包括以下步驟:取納米金剛石拋光液、金剛石微粉和陶瓷球混合,拋光液中納米金剛石與金剛石微粉、陶瓷球的質量比為1:2~5:0.1~0.5,加入研磨緩沖劑,球磨,即可。
2.根據權利要求1所述的形貌修整方法,其特征在于:所述拋光液中納米金剛石的 質量百分數為0.2%~2%,平均粒徑30~300nm。
3.根據權利要求1所述的形貌修整方法,其特征在于:所述金剛石微粉采用粒度 M5/10、M6/12、M8/16、M10/20、M15/25中的一種或多種。
4.根據權利要求1所述的形貌修整方法,其特征在于:所述陶瓷球采用氧化鋯珠、 氧化硅珠、氮化硅珠、氧化鋁珠中的一種或多種,粒徑0.5~5mm。
5.根據權利要求1所述的形貌修整方法,其特征在于:所述研磨緩沖劑采用透平油、 變壓器油、甘油、油酸、白油、聚乙二醇200、聚乙二醇600中的一種或多種,研磨緩沖 劑的加量為納米金剛石拋光液、金剛石微粉和陶瓷球三者總質量的2%~8%。
6.根據權利要求1所述的形貌修整方法,其特征在于:所述球磨時間為10~100min。
7.根據權利要求1所述的形貌修整方法,其特征在于:所述球磨完畢從球磨混合物 中取出陶瓷球,剩余部分離心取上層液,過濾,得濾液。
8.根據權利要求7所述的形貌修整方法,其特征在于:所述離心為在轉速 5000~10000r/min下離心5~10min。
9.根據權利要求7所述的形貌修整方法,其特征在于:所述過濾采用的濾網孔徑為 0.3~1μm。