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專利:一種硅棒研磨裝置

關鍵詞 硅棒 , 研磨裝置|2015-02-09 09:38:47|行業專利|來源 中國超硬材料網
摘要 申請號:201420510058.6申請人:中衛市銀陽新能源有限公司摘要:本實用新型公開了一種硅棒研磨裝置,包括驅動機構和砂輪,所述砂輪螺接在驅動機構的驅動軸上;還包括防
  申請號:201420510058.6

       申請人:中衛市銀陽新能源有限公司

       摘要: 本實用新型公開了一種硅棒研磨裝置,包括驅動機構和砂輪,所述砂輪螺接在驅動機構的驅動軸上;還包括防護罩、冷水箱和冷卻盤,所述防護罩為環形,所述防護罩固定在驅動機構上;所述冷卻盤為中空結構,其上設有進水口,且朝向砂輪一側設有噴水孔,所述冷卻盤設置在驅動機構與砂輪之間;所述冷水箱通過管道與冷卻盤進水口連通;所述砂輪為金剛石砂輪。本實用新型有效解決了硅棒上鋸痕、“鼓肚”等問題,且研磨過程中利用水冷卻,粉塵由水帶出,減少了對工作環境的污染。

       主權利要求:1.一種硅棒研磨裝置,包括驅動機構(1)和砂輪(2),所述砂輪(2)螺接在驅動機構(1)的驅動軸上;其特征在于,還包括防護罩(3)、冷水箱(4)和冷卻盤(5),所述防護罩(3)為環形,所述防護罩(3)固定在驅動機構(1)上;所述冷卻盤(5)為中空結構,其上設有進水口,且朝向砂輪(2)一側設有噴水孔(501),所述冷卻盤(5)設置在驅動機構(1)與砂輪(2)之間;所述冷水箱(4)通過管道與冷卻盤(5)進水口連通;所述砂輪(2)為金剛石砂輪。

       2.如權利要求1所述的硅棒研磨裝置,其特征在于,所述防 護罩(3)為截面呈“凹”形的環形防護罩,所述防護罩(3)端面內 徑不大于砂輪直徑。

       3.如權利要求1所述的硅棒研磨裝置,其特征在于,所述防 護罩(3)通過螺栓固定在驅動機構(1)上。

       4.如權利要求1所述的硅棒研磨裝置,其特征在于,所述噴 水孔(501)均勻設置在冷卻盤(5)朝向砂輪一側。

       5.如權利要求1所述的硅棒研磨裝置,其特征在于,所述防 護罩(3)為金屬防護罩。

       6.如權利要求1-5任一項所述的硅棒研磨裝置,其特征在于, 所述防護罩(3)底端設置有供冷卻水流出的開口。  
 

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