申請(qǐng)?zhí)枺?01620213665.5
　　申請(qǐng)人：浙江晶盛機(jī)電股份有限公司
　　發(fā)明人：傅林堅(jiān) 何守龍 曹建偉 沈文杰 朱亮 盧嘉彬 邱文杰 沈加富 邱敏秀

　　摘要：本實(shí)用新型涉及單晶硅棒加工專(zhuān)用切割設(shè)備，旨在提供一種金剛線(xiàn)單晶硅棒切方設(shè)備。該種金剛線(xiàn)單晶硅棒切方設(shè)備包括大底架、龍門(mén)架、排線(xiàn)安裝架、張力電機(jī)安裝架、張力電機(jī)、張力臂、工作臺(tái)頭座、工作臺(tái)尾座、排線(xiàn)部件、收放線(xiàn)部件、線(xiàn)偏檢測(cè)部件、進(jìn)刀單元、過(guò)渡導(dǎo)輪、張力導(dǎo)輪，工作臺(tái)頭座和工作臺(tái)尾座之間用于夾持晶棒，且能夠控制晶棒沿工作臺(tái)頭座和工作臺(tái)尾座的軸線(xiàn)旋轉(zhuǎn)。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊，布局合理；本實(shí)用新型采用金剛石線(xiàn)鋸切割，切割刀痕小，切割面質(zhì)量高，大大減少了原材料的損耗；本實(shí)用新型大大改善了工作環(huán)境，實(shí)現(xiàn)了環(huán)保生產(chǎn)。 　　主權(quán)利要求：1.一種金剛線(xiàn)單晶硅棒切方設(shè)備，包括大底架、龍門(mén)架、排線(xiàn)安裝架、張力電機(jī)安裝架、張力電機(jī)、張力臂、工作臺(tái)頭座、工作臺(tái)尾座、排線(xiàn)部件、收放線(xiàn)部件、線(xiàn)偏檢測(cè)部件、進(jìn)刀單元、過(guò)渡導(dǎo)輪、張力導(dǎo)輪，其特征在于，所述龍門(mén)架設(shè)有兩個(gè)，分別為左龍門(mén)架和右龍門(mén)架；所述排線(xiàn)安裝架設(shè)有兩個(gè)，分別為左排線(xiàn)安裝架和右排線(xiàn)安裝架；所述張力電機(jī)安裝架設(shè)有兩個(gè)，分別為左張力電機(jī)安裝架和右張力電機(jī)安裝架；所述張力電機(jī)設(shè)有兩個(gè)，分別為左張力電機(jī)和右張力電機(jī)；所述張力臂設(shè)有兩個(gè)，分別為左張力臂和右張力臂；所述過(guò)渡導(dǎo)輪設(shè)有五個(gè)，分別為第一過(guò)渡導(dǎo)輪、第二過(guò)渡導(dǎo)輪、第三過(guò)渡導(dǎo)輪、第四過(guò)渡導(dǎo)輪和第五過(guò)渡導(dǎo)輪；所述張力導(dǎo)輪設(shè)有兩個(gè)，分別為左張力導(dǎo)輪和右張力導(dǎo)輪；所述進(jìn)刀單元設(shè)有四個(gè)，分別為第一進(jìn)刀單元、第二進(jìn)刀單元、第三進(jìn)刀單元和第四進(jìn)刀單元；所述排線(xiàn)部件設(shè)有兩個(gè)，分別為左排線(xiàn)部件和右排線(xiàn)部件，排線(xiàn)部件用于將金剛石線(xiàn)均勻排布在收放線(xiàn)部件上；所述收放線(xiàn)部件設(shè)有兩個(gè)，分別為左收放線(xiàn)部件和右收放線(xiàn)部件，收放線(xiàn)部件用于實(shí)現(xiàn)金剛石線(xiàn)的往復(fù)運(yùn)動(dòng)；所述線(xiàn)偏檢測(cè)部件設(shè)有兩個(gè)，分別為左線(xiàn)偏檢測(cè)部件和右線(xiàn)偏檢測(cè)部件，線(xiàn)偏檢測(cè)部件用于檢測(cè)收放線(xiàn)部件上的金剛石線(xiàn)是否均勻分布；所述左排線(xiàn)安裝架安裝在大底架的左側(cè)，左排線(xiàn)部件安裝在左排線(xiàn)安裝架的上方；所述左收放線(xiàn)部件安裝在左排線(xiàn)部件的上方；所述左龍門(mén)架安裝在大底架的左上方，左張力電機(jī)安裝架安裝在左龍門(mén)架的上方，左線(xiàn)偏檢測(cè)部件安裝在左龍門(mén)架的外側(cè)，第一進(jìn)刀單元和第四進(jìn)刀單元安裝在左龍門(mén)架的內(nèi)側(cè)；所述左張力電機(jī)安裝架上安裝有第一過(guò)渡導(dǎo)輪、第二過(guò)渡導(dǎo)輪、左張力電機(jī)、左張力臂，所述左張力導(dǎo)輪安裝在左張力臂上；所述右排線(xiàn)安裝架安裝在大底架的右側(cè)，右排線(xiàn)部件安裝在右排線(xiàn)安裝架的上方；所述右收放線(xiàn)部件安裝在右排線(xiàn)部件的上方；所述右龍門(mén)架安裝在大底架的右上方，右張力電機(jī)安裝架安裝在右龍門(mén)架的上方，右線(xiàn)偏檢測(cè)部件安裝在右龍門(mén)架的外側(cè)，第二進(jìn)刀單元和第三進(jìn)刀單元安裝在右龍門(mén)架的內(nèi)側(cè)；所述右張力電機(jī)安裝架上安裝有第三過(guò)渡導(dǎo)輪、第四過(guò)渡導(dǎo)輪、右張力電機(jī)、右張力臂，所述右張力導(dǎo)輪安裝在右張力臂上；所述第五過(guò)渡導(dǎo)輪安裝在左龍門(mén)架和右龍門(mén)架之間；所述工作臺(tái)頭座和工作臺(tái)尾座安裝在大底架的正上方，工作臺(tái)頭座和工作臺(tái)尾座之間用于夾持晶棒，且能夠控制晶棒沿工作臺(tái)頭座和工作臺(tái)尾座的軸線(xiàn)旋轉(zhuǎn)。
　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金剛線(xiàn)單晶硅棒切方設(shè)備，其特征在于，所述第一進(jìn)刀單元上安裝有第一進(jìn)刀導(dǎo)輪，第一進(jìn)刀單元能夠獨(dú)立控制第一進(jìn)刀導(dǎo)輪在豎直方 向上的進(jìn)刀速度和進(jìn)刀深度。
　　3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金剛線(xiàn)單晶硅棒切方設(shè)備，其特征在于，所述第二進(jìn)刀單元上安裝有第二進(jìn)刀導(dǎo)輪，第二進(jìn)刀單元能夠獨(dú)立控制第二進(jìn)刀導(dǎo)輪在豎直方 向上的進(jìn)刀速度和進(jìn)刀深度。
　　4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金剛線(xiàn)單晶硅棒切方設(shè)備，其特征在于，所述第三進(jìn)刀單元上安裝有第三進(jìn)刀導(dǎo)輪，第三進(jìn)刀單元能夠獨(dú)立控制第三進(jìn)刀導(dǎo)輪在豎直方 向上的進(jìn)刀速度和進(jìn)刀深度。
　　5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金剛線(xiàn)單晶硅棒切方設(shè)備，其特征在于，所述第四進(jìn)刀單元上安裝有第四進(jìn)刀導(dǎo)輪，第四進(jìn)刀單元能夠獨(dú)立控制第四進(jìn)刀導(dǎo)輪在豎直方 向上的進(jìn)刀速度和進(jìn)刀深度。
　　6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任意一項(xiàng)所述的一種金剛線(xiàn)單晶硅棒切方設(shè)備，其特征在于，所述第五過(guò)渡導(dǎo)輪上設(shè)有測(cè)速裝置，能夠?qū)饎偸€(xiàn)的線(xiàn)速度進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)獲取。