申請號：201310280050

　　申請人：大連理工大學

　　摘要：一種提高電化學法合成硬碳膜中金剛石含量的方法，屬于先進材料制備的技術領域，涉及到液相電化學沉積類金剛石薄膜。其特征是在反應液中通入氧化劑臭氧氣體，由臭氧分解的大量活性氧原子對伴生石墨相有強的刻蝕作用，從而提高薄膜中金剛石相的相對含量。本發明的效果和益處是：活性氧原子有效地抑制了石墨相的生長，使沉積薄膜中的金剛石相對量提高；通入臭氧氣體對反應液其攪拌作用，可調節反應溫度，提高沉積薄膜的均勻性。

　　獨立權利要求：1.一種提高電化學法合成硬碳膜中金剛石含量的方法，是以甲醇或乙醇為反應溶液，加入去離子水，甲醇或乙醇的體積百分比為10-80%，甲醇或乙醇水溶液中加入0.1-30%甲酸或乙酸，活性氧化劑臭氧抑制伴生的石墨相，提高沉積薄膜中金剛石相的相對含量，通入的臭氧氣體對反應液起到攪拌作用，調節反應液的溫度，提高沉積薄膜的均勻性；其特征是在電化學反應的過程中連續不斷地通入活性氧化劑臭氧，臭氧通入量為0-200mg/h。