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氮化鋁、碳化硅及氮化鋁∶碳化硅合金塊狀單晶的制備方法

關鍵詞 氮化鋁 , 碳化硅 , 氮化鋁|2010-12-24 00:00:00|行業專利|來源 中國超硬材料網
摘要 名稱氮化鋁、碳化硅及氮化鋁∶碳化硅合金塊狀單晶的制備方法公開號1344336公開日2002.04.10主分類號C30

 

名稱 氮化鋁碳化硅及氮化鋁∶碳化硅合金塊狀單晶的制備方法 
公開號 1344336  公開日 2002.04.10   
主分類號 C30B29/36  分類號 C30B29/36;C30B29/38;C30B23/00;C30B29/40 
申請號 99811961.X   
分案原申請號   申請日 1999.10.08   
頒證日   優先權 1998.10.9__US_09/169,401 
申請人 克里公司    地址 美國北卡羅萊納  
發明人 C·E·亨特    國際申請 PCT/US99/23487 1999.10.8 
國際公布 WO00/22203 英 2000.4.20  進入國家日期 2001.04.09  
專利代理機構 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所    代理人 段承恩   
摘要   采用在許多成核點沉積Al、Si、N、C的適當蒸汽物質制備了低缺陷濃度、低雜質的氮化鋁、碳化硅及氮化鋁:碳化硅合金塊狀單晶,這些成核點是擇優冷卻至低于晶體生長室內周圍表面溫度的。通過升華固態材料、汽化液態Al、Si或Al-Si、或注入源氣體來提供蒸汽物質。這些許多成核點可能未引種或者采用籽晶如4H或6HSiC進行經引種的。
 

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