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碳化硅半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)器件

關(guān)鍵詞 碳化硅半導(dǎo)體 , 開(kāi)關(guān)器件 |2010-12-23 00:00:00|行業(yè)專利|來(lái)源 中國(guó)超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱碳化硅半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)器件公開(kāi)號(hào)1286805公開(kāi)日2001.03.07主分類號(hào)H01L29/04

 

名稱 碳化硅半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)器件 
公開(kāi)號(hào) 1286805  公開(kāi)日 2001.03.07   
主分類號(hào) H01L29/04  分類號(hào) H01L29/04 
申請(qǐng)?zhí)?/strong> 98813915.4   
分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong>   申請(qǐng)日 1998.03.19   
頒證日   優(yōu)先權(quán)  
申請(qǐng)人 株式會(huì)社日立制作所  地址 日本東京都 
發(fā)明人 大野俊之;巖崎貴之;八尾勉  國(guó)際申請(qǐng) PCT.JP98/01185 1998.3.19 
國(guó)際公布 WO99.48153 日 1999.9.23  進(jìn)入國(guó)家日期 2000.09.18  
專利代理機(jī)構(gòu) 中國(guó)專利代理(香港)有限公司  代理人 吳增勇;葉愷東 
摘要   本半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)器件包括具有第一導(dǎo)電類型的六角形對(duì)稱碳化硅單晶和具有與第一導(dǎo)電類型相反的第二導(dǎo)電類型并位于碳化硅單晶內(nèi)的半導(dǎo)體區(qū)域。在第一導(dǎo)電類型的碳化硅單晶和第二導(dǎo)電類型的半導(dǎo)體區(qū)域之間形成pn結(jié)。pn結(jié)果面包括從碳化硅單晶表面開(kāi)始沿著深度方向延伸的界面,而延伸的界面包括與碳化硅單晶(1120)取向平行或大致與之平行的晶面。因此減小漏電流。
 

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