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碳化硅纖維生產(chǎn)中的尾氣回收方法及裝置

關(guān)鍵詞 碳化硅纖維|2010-12-23 00:00:00|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱碳化硅纖維生產(chǎn)中的尾氣回收方法及裝置公開號1146503公開日1997.04.02主分類號C30B25/00&nbs

 

名稱 碳化硅纖維生產(chǎn)中的尾氣回收方法及裝置 
公開號 1146503  公開日 1997.04.02 
主分類號 C30B25/00  分類號 C30B25/00;C30B29/36;C30B29/62;B01D53/34;B01D5/00 
申請?zhí)?/strong> 95115643.8 
分案原申請?zhí)?/strong>   申請日 1995.09.29 
頒證日   優(yōu)先權(quán)  
申請人 中國科學(xué)院山西煤炭化學(xué)研究所  地址 030001山西省太原市165信箱 
發(fā)明人 張蓬洲; 任兆鑫; 宋麗萍; 溫月芳  國際申請  
國際公布   進(jìn)入國家日期  
專利代理機(jī)構(gòu) 中國科學(xué)院山西專利事務(wù)所  代理人 衛(wèi)凌秋; 魏樹巍 
摘要   本發(fā)明提供一種碳化硅纖維生產(chǎn)尾氣的回收方法及裝置,是將尾氣通過-40~-80℃的冷凝裝置冷凝,分離CH#-[3]SiCl#-[3]、CH#-[3]SiHCl#-[2]及高沸點(diǎn)物質(zhì),然后將不能被冷凝的HCl、H#-[2]等物質(zhì)送入含10%堿液的吸收塔,除去HCl,H#-[2]送入凈化器凈化,被冷凝分離出的硅烷,經(jīng)過精密蒸餾除去高沸點(diǎn)物質(zhì)后再使用。由本發(fā)明回收的CH#-[3]SiCl#-[3]和CH#-[3]SiHCl#-[2]占尾氣總量的95%,再利用率為65%。經(jīng)本發(fā)明尾氣回收后的環(huán)境檢測達(dá)到國家標(biāo)準(zhǔn)。
 

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