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碳化硅纖維生產中的尾氣回收方法及裝置

關鍵詞 碳化硅纖維|2010-12-23 00:00:00|行業專利|來源 中國超硬材料網
摘要 名稱碳化硅纖維生產中的尾氣回收方法及裝置公開號1146503公開日1997.04.02主分類號C30B25/00&nbs

 

名稱 碳化硅纖維生產中的尾氣回收方法及裝置 
公開號 1146503  公開日 1997.04.02 
主分類號 C30B25/00  分類號 C30B25/00;C30B29/36;C30B29/62;B01D53/34;B01D5/00 
申請號 95115643.8 
分案原申請號   申請日 1995.09.29 
頒證日   優先權  
申請人 中國科學院山西煤炭化學研究所  地址 030001山西省太原市165信箱 
發明人 張蓬洲; 任兆鑫; 宋麗萍; 溫月芳  國際申請  
國際公布   進入國家日期  
專利代理機構 中國科學院山西專利事務所  代理人 衛凌秋; 魏樹巍 
摘要   本發明提供一種碳化硅纖維生產尾氣的回收方法及裝置,是將尾氣通過-40~-80℃的冷凝裝置冷凝,分離CH#-[3]SiCl#-[3]、CH#-[3]SiHCl#-[2]及高沸點物質,然后將不能被冷凝的HCl、H#-[2]等物質送入含10%堿液的吸收塔,除去HCl,H#-[2]送入凈化器凈化,被冷凝分離出的硅烷,經過精密蒸餾除去高沸點物質后再使用。由本發明回收的CH#-[3]SiCl#-[3]和CH#-[3]SiHCl#-[2]占尾氣總量的95%,再利用率為65%。經本發明尾氣回收后的環境檢測達到國家標準。
 

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