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制備用PVD法涂覆Al#-[2]O#-[3]的切削刀具的方法

關鍵詞 切削刀具|2010-12-22 00:00:00|行業專利|來源 中國超硬材料網
摘要 名稱制備用PVD法涂覆Al#-[2]O#-[3]的切削刀具的方法公開號1304458公開日2001.07.18主分類號

 

名稱 制備用PVD法涂覆Al#-[2]O#-[3]的切削刀具的方法 
公開號 1304458  公開日 2001.07.18   
主分類號 C23C14/08  分類號 C23C14/08 
申請號 00800790.X   
分案原申請號   申請日 2000.05.03   
頒證日   優先權 1999.5.6 SE 9901650-3 
申請人 桑德維克公司    地址 瑞典桑德維肯  
發明人 西格弗里德·席勒;克勞斯·格迪克;弗雷德·菲茨克;奧?  國際申請  
國際公布   進入國家日期  
專利代理機構 永新專利商標代理有限公司    代理人 過曉東   
摘要   本發明涉及一種制備由涂層和基體組成的涂覆切削刀具的方法,其中,用反應性磁控濺射法在運動的基體上于真空中沉積至少一層難熔的 γ—Al#-[2]O#-[3]微晶層,脈沖磁控濺射是在稀有氣體和反應性氣體的混合物中進行的,脈沖頻率設定為10—100 kHz;沉積的速率相對于靜態放置的基體至少為1nm/s;按時間平均的磁控靶功率密度設定為至少10 W/cm#+[2];基體溫度設定在400—700℃的范圍內,這取決于要進行涂覆的工具本體的材料;而且撞擊每個基體的粒子流循環性地中斷。    
 

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