名稱 | 制備用PVD法涂覆Al#-[2]O#-[3]的切削刀具的方法 | ||
公開號 | 1304458 | 公開日 | 2001.07.18 |
主分類號 | C23C14/08 | 分類號 | C23C14/08 |
申請號 | 00800790.X | ||
分案原申請號 | 申請日 | 2000.05.03 | |
頒證日 | 優先權 | 1999.5.6 SE 9901650-3 | |
申請人 | 桑德維克公司 | 地址 | 瑞典桑德維肯 |
發明人 | 西格弗里德·席勒;克勞斯·格迪克;弗雷德·菲茨克;奧? | 國際申請 | |
國際公布 | 進入國家日期 | ||
專利代理機構 | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人 | 過曉東 |
摘要 | 本發明涉及一種制備由涂層和基體組成的涂覆切削刀具的方法,其中,用反應性磁控濺射法在運動的基體上于真空中沉積至少一層難熔的 γ—Al#-[2]O#-[3]微晶層,脈沖磁控濺射是在稀有氣體和反應性氣體的混合物中進行的,脈沖頻率設定為10—100 kHz;沉積的速率相對于靜態放置的基體至少為1nm/s;按時間平均的磁控靶功率密度設定為至少10 W/cm#+[2];基體溫度設定在400—700℃的范圍內,這取決于要進行涂覆的工具本體的材料;而且撞擊每個基體的粒子流循環性地中斷。 |