名稱 | 高耐氧化納米晶—非晶結構的超硬復合膜刀具及其沉積方法 | ||
公開號 | CN1654702 | 公開日 | 2005.08.17 |
主分類號 | C23C14/06 | 分類號 | C23C14/06;C23C14/34;C23C14/35 |
申請號 | 200510018267.4 | ||
分案原申請號 | 申請日 | ||
頒證日 | 優先權 | ||
申請人 | 吳大維 | 地址 | 430071湖北省武漢市武昌區小洪山中區41號4樓7號 |
發明人 | 吳大維;吳越俠 | 國際申請 | |
國際公布 | 進入國家日期 | ||
專利代理機構 | 武漢宇晨專利事務所 | 代理人 | 黃瑞棠 |
摘要 | 本發明公開了一種高耐氧化納米晶—非晶結構的超硬復合膜刀具及其沉積方法,涉及新材料技術領域中的超硬復合膜刀具及其沉積方法,特別是涉及一種納米晶—非晶結構超硬膜和復合氧化物膜。本刀具是在刀具8上的復合膜依次為起粘附作用的過渡層A、納米晶—非晶結構nc-TiAlN/a-Si3N4超硬膜B、提高耐氧化性能的復合氧化物膜C、低摩擦系數的自潤滑膜D。本方法是在真空室4中設置有外靶1、內靶2、離子源3。本發明提供了一種適合產業化生產實際的鍍膜方法,具有生產效率高、涂層質量好、生產成本低的特點,對于各種類型的高速鋼刀具、硬質合金刀具和陶瓷刀具,以及各種模具都有廣泛的應用價值。 |