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高耐氧化納米晶—非晶結構的超硬復合膜刀具及其沉積方法

關鍵詞 超硬復合膜 , 刀具 , 沉積方法 |2010-12-21 00:00:00|行業專利|來源 中國超硬材料網
摘要 名稱高耐氧化納米晶—非晶結構的超硬復合膜刀具及其沉積方法公開號CN1654702公開日2005.08.17主分類號

 

名稱 高耐氧化納米晶—非晶結構的超硬復合膜刀具及其沉積方法 
公開號 CN1654702  公開日 2005.08.17 
主分類號 C23C14/06  分類號 C23C14/06;C23C14/34;C23C14/35 
申請號 200510018267.4 
分案原申請號   申請日  
頒證日   優先權  
申請人 吳大維   地址 430071湖北省武漢市武昌區小洪山中區41號4樓7號 
發明人 吳大維;吳越俠  國際申請  
國際公布   進入國家日期  
專利代理機構 武漢宇晨專利事務所  代理人 黃瑞棠 
摘要   本發明公開了一種高耐氧化納米晶—非晶結構的超硬復合膜刀具及其沉積方法,涉及新材料技術領域中的超硬復合膜刀具及其沉積方法,特別是涉及一種納米晶—非晶結構超硬膜和復合氧化物膜。本刀具是在刀具8上的復合膜依次為起粘附作用的過渡層A、納米晶—非晶結構nc-TiAlN/a-Si3N4超硬膜B、提高耐氧化性能的復合氧化物膜C、低摩擦系數的自潤滑膜D。本方法是在真空室4中設置有外靶1、內靶2、離子源3。本發明提供了一種適合產業化生產實際的鍍膜方法,具有生產效率高、涂層質量好、生產成本低的特點,對于各種類型的高速鋼刀具、硬質合金刀具和陶瓷刀具,以及各種模具都有廣泛的應用價值。 
 

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