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陰極電弧蒸鍍方式淀積類金剛石碳膜的制備方法

名稱陰極電弧蒸鍍方式淀積類金剛石碳膜的制備方法公開號1289861公開日2001.04.04主分類號C23C16/2

日期 2010-12-10   
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