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一種碳化硅晶片的雙面拋光方法

申請(qǐng)?zhí)枺?01610071886.8申請(qǐng)人:北京華進(jìn)創(chuàng)威電子有限公司發(fā)明人:詹琳摘要:本發(fā)明一種碳化硅晶片雙面拋光方法,包括將碳化硅晶片在雙面拋光機(jī)依次進(jìn)行粗拋光、半精...

日期 2016-07-18   
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