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反應(yīng)氣體對納米金剛石薄膜的顯微力學(xué)特性影響

摘要本文采用電子輔助增強熱絲化學(xué)氣相沉積(HFCVD)系統(tǒng),CH4/H2、CH4/H2/Ar氣體和不同比例的四種氣氛制備了納米金剛石薄膜,利用Raman光譜和原子力顯微...

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