國內(nèi)第一家專業(yè)從事CVD(化學(xué)氣相沉積)金剛石工業(yè)化生產(chǎn)的企業(yè);第一臺(tái)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MPCVD生長設(shè)備;第一顆CVD大單晶金剛石;第一條自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的CVD大單晶金剛石工業(yè)化生產(chǎn)線……這兩天,創(chuàng)下CVD大單晶金剛石4個(gè)國內(nèi)第一的生產(chǎn)企業(yè)——寧波晶鉆科技股份有限公司,正在進(jìn)行新設(shè)備的最后調(diào)試。
下月底,晶鉆科技的生長設(shè)備將擴(kuò)充至1500臺(tái)。屆時(shí),該企業(yè)大尺寸、高品質(zhì)CVD大單晶金剛石年產(chǎn)能將達(dá)到200萬克拉,居全球第一。
晶鉆科技董事長張軍安說,作為自然界中最堅(jiān)硬的物質(zhì)之一,金剛石除了供應(yīng)消費(fèi)端成為珠寶首飾外,在芯片、微電子、量子通信、光學(xué)、超精密加工、高端醫(yī)療等工業(yè)領(lǐng)域也有著廣泛應(yīng)用,產(chǎn)業(yè)應(yīng)用規(guī)模達(dá)到萬億級(jí)。
“我們聚焦的正是金剛石在工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用。”張軍安說,憑借10年的技術(shù)積累,目前,晶鉆科技生產(chǎn)的同質(zhì)外延單晶金剛石尺寸可達(dá)“42毫米×42毫米”,尺寸全球最大,其純度、可控?fù)诫s的能力及表面粗糙度也走在全球前列,并已廣泛應(yīng)用于金剛石刀具、射流噴嘴等超精密工具領(lǐng)域。
借助此次設(shè)備的升級(jí)及技術(shù)創(chuàng)新的持續(xù)突破,晶鉆科技的單晶金剛石有望在今年突破4英寸,未來聚焦的重點(diǎn)也將隨之轉(zhuǎn)向半導(dǎo)體。
“這兩天,我們正與國家5G中高頻器件創(chuàng)新中心加緊開展金剛石基氮化鎵功率芯片項(xiàng)目的聯(lián)合攻關(guān)。”在張軍安看來,晶鉆科技有信心成為全球第一家生產(chǎn)4英寸同質(zhì)外延單晶金剛石晶圓的企業(yè),在半導(dǎo)體領(lǐng)域掀起一場(chǎng)材料替換的“風(fēng)暴”。
而這僅僅是一個(gè)開始。“有規(guī)模體量、有技術(shù)沉淀與積累才能在‘風(fēng)口’來臨時(shí)緊緊抓住。”張軍安說,加快形成新質(zhì)生產(chǎn)力,就是要加快實(shí)現(xiàn)“0到1”的原創(chuàng)性創(chuàng)新及“0到100”的顛覆性創(chuàng)新。
晶鉆科技要做的就是在完成產(chǎn)品、生長設(shè)備、工藝裝備、加工裝備及檢驗(yàn)檢測(cè)裝備的自主創(chuàng)新后,緊緊圍繞行業(yè)需求,持續(xù)創(chuàng)新與迭代,最終通過向下延伸、拓展應(yīng)用,在“0到100”的顛覆性創(chuàng)新中,站在金剛石行業(yè)發(fā)展的最前沿。
“這注定是一條漫長又艱辛的道路,但總要有企業(yè)去闖、去做。”談及未來的發(fā)展,張軍安的眼中滿是堅(jiān)定。