無論是掃描電子顯微鏡（SEM），還是透射電子顯微鏡（TEM），都是以電子束為光源。但在這篇報(bào)道中，聚焦離子束（FIB）顯微鏡采用離子束為光源，其不僅具有電子顯微鏡分析材料的功能，還能夠?qū)Σ牧线M(jìn)行解剖分析，從而得到三維圖像。總的來說，離子束顯微鏡更具有優(yōu)越性。
　　德國電子同步加速器研究所（DESY）的科學(xué)家們采用一種全新的“納米手術(shù)刀”來合成具有納米精度的樣品或材料，同時(shí)用掃描電子顯微鏡跟蹤這一過程。而目前已經(jīng)商業(yè)化的聚焦離子束（FIB）顯微鏡也可以用于材料結(jié)構(gòu)內(nèi)部的顯微觀察。這臺聚焦離子束（FIB）顯微鏡作為德國電子同步加速器研究所的聯(lián)合研究項(xiàng)目的一部分，在聯(lián)邦科技部資助下，被拜羅伊特大學(xué)購買了下來。設(shè)備被放在電子同步加速器研究所的納米實(shí)驗(yàn)室中與拜羅伊特大學(xué)聯(lián)合使用。 　　拜羅伊特大學(xué)項(xiàng)目科學(xué)家Maxim Bykov解釋道：“這種顯微鏡不僅能夠檢查材料表面下的微觀缺陷、裂痕或者點(diǎn)狀腐蝕區(qū)域，還能夠在納米尺度范圍內(nèi)以極高的精度機(jī)械加工樣品表面。”
　　離子束可以被用來加工材料就好像是一種微型銑床。因此，將離子束和電子束顯微鏡組合后運(yùn)用在在納米技術(shù)、材料科學(xué)和生物學(xué)領(lǐng)域?qū)⒆兊锰貏e有意義。
　　拜羅伊特大學(xué)聯(lián)合研究項(xiàng)目負(fù)責(zé)人Natalia Dubrovinskaia教授表示：“離子束除了能夠檢測材料結(jié)構(gòu)，還具有剖析材料的能力，這使其能廣泛地運(yùn)用于其他領(lǐng)域。”
　　例如制備微型鉆石砧，這種鉆石砧常在超高壓實(shí)驗(yàn)中被用來支撐樣品，但是由于其尺寸太小的原因而沒有其他更好的制備方法。而離子束顯微鏡可以采用被稱為雙堆疊金剛石壓腔來制備具有納米精度的鉆石。電子同步加速器研究所（DYSE）的科學(xué)家Hanns-Peter Liermann領(lǐng)導(dǎo)的團(tuán)隊(duì)在DYSE的極端條件光束（ECB）P02.2下就進(jìn)行了這種超高壓實(shí)驗(yàn)。
　　另外，科研人員也可以通過這臺設(shè)備測量熒光輻射來研究樣品的化學(xué)組成。DESY納米實(shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)顯微鏡和納米結(jié)構(gòu)的 Thomas Keller補(bǔ)充道：“與內(nèi)置銑床聯(lián)合使用，我們不僅能夠確定材料的三維結(jié)構(gòu)，而且還能通過依次剖析材料并進(jìn)行化學(xué)分析，以獲得表面以下的元素分布，就如同三維層析成像一般。”
　　總的來說，離子束顯微鏡集檢測材料結(jié)構(gòu)和剖析材料的能力于一身，顯得更具有優(yōu)越性。