| 名稱 | 納米金剛石粉預處理的大面積金剛石膜材料的生長工藝 | ||
| 公開號 | 1275635 | 公開日 | 2000.12.06 |
| 主分類號 | C23C16/27 | 分類號 | C23C16/27 |
| 申請號 | 00118919.0 | ||
| 分案原申請號 | 申請日 | 2000.06.16 | |
| 頒證日 | 優先權 | ||
| 申請人 | 吉林大學 | 地址 | 130012吉林省長春市朝陽區前衛路10號 |
| 發明人 | 顧長志; 金曾孫 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構 | 吉林大學專利事務所 | 代理人 | 王恩遠 |
| 摘要 | 本發明屬金剛石膜材料的制備工藝。包括預處理和長膜兩個過程。預處理是將襯底在納米級金剛石粉乙醇溶液中浸漬，再高溫氫氣氛等離子體中退火兩小時形成均勻高密度仔晶；長膜是氫氣和甲烷為原料氣體，在化學氣相沉積裝置中，在５～１５ｍｂａｒ氣壓和６００～９５０℃襯底溫度條件生長金剛石膜。本發明能生長均勻大面積金剛石膜，具有高附著力、低界面態密度、高可靠性、高品質與低成本等優良特性 | ||
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