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光智科技取得制備多晶金剛石膜沉積臺專利,有效避免微波放電“邊沿效應”影響

關鍵詞 光智科技 , 多晶金剛石膜沉積臺 , 專利|2025-03-21 08:41:25|行業專利|來源 金融界
摘要 金融界2025年3月20日消息,國家知識產權局信息顯示,安徽光智科技有限公司取得一項名為“種用于制備多晶金剛石膜的沉積臺”的專利,授權公告號CN222631617U,申請日期為20...

       金融界2025年3月20日消息,國家知識產權局信息顯示,安徽光智科技有限公司取得一項名為“種用于制備多晶金剛石膜的沉積臺”的專利,授權公告號 CN 222631617 U,申請日期為2024年3月。

       專利摘要顯示,本申請公開了一種用于制備多晶金剛石膜的沉積臺,化學氣相沉積技術領域,包括沉積臺本體;沉積臺本體頂部設有供襯底置入的定位凹槽;凹槽底部邊緣設有環形隔離凹槽;環形隔離凹槽用于將置入定位凹槽的襯底的邊緣與沉積臺本體隔離。其在沉積臺本體頂部開設供襯底置入的定位凹槽,以實現對襯底的定位安裝,再通過定位凹槽底部邊緣的環形隔離凹槽,將置入的襯底的邊緣與沉積臺本體隔離開,避免襯底的邊緣接觸到沉積臺本體。從而有效避免微波放電的“邊沿效應”對襯底溫度的影響,保證沉積臺及襯底的邊緣溫度與中心溫度差較小,達到了制備同一等級金剛石膜的溫度要求。

       天眼查資料顯示,安徽光智科技有限公司,成立于2018年,位于滁州市,是一家以從事計算機、通信和其他電子設備制造業為主的企業。企業注冊資本90000萬人民幣,實繳資本90000萬人民幣。通過天眼查大數據分析,安徽光智科技有限公司共對外投資了5家企業,參與招投標項目77次,財產線索方面有商標信息20條,專利信息767條,此外企業還擁有行政許可43個。


 

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