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大面積類金剛石碳膜低溫制備方法及裝置

關鍵詞 類金剛石碳膜 , 低溫制備 , 裝置 |2010-12-10 00:00:00|行業專利|來源 中國超硬材料網
摘要 名稱大面積類金剛石碳膜低溫制備方法及裝置公開號1196401公開日1998.10.21主分類號C23C16/26&n

 

名稱 大面積類金剛石碳膜低溫制備方法及裝置 
公開號 1196401  公開日 1998.10.21   
主分類號 C23C16/26  分類號 C23C16/26 
申請號 97103251.3   
分案原申請號   申請日 1997.04.17   
頒證日   優先權  
申請人 哈爾濱工業大學    地址 150001黑龍江省哈爾濱市西大直街92號  
發明人 夏立芳; 孫明仁; 馬欣新; 孫躍    國際申請  
國際公布   進入國家日期  
專利代理機構 哈爾濱工業大學專利事務所  代理人 李依群   
摘要   本發明提出一種材料表面大面積類金剛石碳膜低溫制備方法及裝置,具體說是在密閉的真空室內充入含碳氣體,并對工件施加負高壓電脈沖,激發等離子體,在工件溫度不變的條件下,在其表面形成一層膜基間無界面的大面積類金剛石碳膜。其裝置為一個具有封閉磁場的真空室,室外設高壓脈沖電源及磁場,室內設工件臺或支架及高電壓引入電極,以及油冷、水冷系統。采用本發明可以對成批工件,在其表面制取一層無界面的高結合力的類金剛石碳膜。      
 

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