申請號：201620008436.X
　　申請人：濟南中烏新材料有限公司 山東貝斯特環境技術有限公司
　　發明人：王盛林 王篤福 王希江 王希瑋 徐昌

　　摘要：一種金剛石單晶生長腔體溫度的控制裝置，包括控制器、電流測量模塊、電壓測量模塊、變壓器和可控硅調壓器，可控硅調壓器一方面與電源連接，一方面與變壓器的初級側連接，變壓器的初級側和次級側均連接有電流測量模塊和電壓測量模塊，可控硅調壓器、電流測量模塊和電壓測量模塊均與控制器連接。該裝置結構簡單，能夠實時精確控制，采用了兩級PID運算，根據變壓器次級側反饋值進行的PID運算為主PID值，根據初級側反饋值進行的PID運算為次PID值，次PID對主PID進行微調后輸出至可控硅調壓器，可控硅調壓器根據接收到的控制器控制電壓/電流輸出相應的電壓，從而實現金剛石晶體生長腔體的電壓或功率的實時控制。 　　主權利要求：1.一種金剛石單晶生長腔體溫度控制裝置，包括控制器、電流測量模塊、電壓測量模塊、變壓器和可控硅調壓器，其特征是：可控硅調壓器一方面與電源連接，一方面與變壓器的初級側連接，變壓器的初級側和次級側均連接有電流測量模塊和電壓測量模塊，可控硅調壓器、電流測量模塊和電壓測量模塊均與控制器連接。