名稱 | 半導體精密薄片金剛石砂線切割液及其制備方法 | ||
申請號 | 201210045299 | 申請日 | 2012年2月27日 |
公開號 | 102618376A | 公開日 | 2012年8月1日 |
代理機構 | 常州市維益專利事務所( 32211 ) | 代理人 | 賈海芬 |
申請人 | 常州君合科技有限公司 | 地址 | 江蘇省常州市新北區通江大道396號時代商務廣場5號樓中創大廈20樓 |
發明人 | 陸由東 鄭虎祥 吳偉峰 蔣勇 | 主分類號 | C10M 173/02 |
國家/省市 | 中國江蘇( 32 ) | 分類號 | C10M 173/02 C10M 161/00 C10N 30/06 C10N 30/04 C10N 30/12 C10N 40/00 |
摘要 | 本發明涉及一種半導體精密薄片金剛石砂線切割液,其原料由如下質量份數比的組分組成,包括30-80的多元醇、0.01-0.5的氫氣抑制劑、0.01-0.5的酸、0.1-1.0的表面活性劑、1.0-10.0的分散劑、0.01-0.5的防腐劑和10-35去離子水;其中:本發明的多元醇為丙二醇與聚乙二醇以1~1∶2的混合物,且聚乙二醇的分子量在100~600之間。本發明具有效抑制氫氣產生,潤滑作用明顯,易于清洗,成本低,性能穩定的特點。 | ||
獨立權利要求 | 1.一種半導體精密薄片金剛石砂線切割液,其特征在于:其原料由如下質量份數比的組分組成,包括其中:所述的多元醇為丙二醇與聚乙二醇以1~1∶2的混合物,且聚乙二醇的分子量在100~600之間。 |
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