金剛石線鋸裝置
關鍵詞 金剛石線鋸|2012-03-24 10:09:45|行業專利|來源 中國超硬材料網
摘要 專利號:CN102225593A申請人:桂林創源金剛石有限公司本發明公開了一種切割硅錠的金剛石線鋸裝置,由金剛石鋸絲
專利號:CN102225593A
申請人:桂林創源金剛石有限公司
本發明公開了一種切割硅錠的金剛石線鋸裝置,由金剛石鋸絲相互平行纏繞在成組的導線輪上形成的線網的網面構成多層切割網面,各層切割面上的金剛石鋸絲上下對齊,按切割順序,各層切割網面金剛石鋸絲的直徑逐漸增大,其中金剛石鋸絲的線徑逐漸增粗,而其上附著的金剛石磨粒尺寸逐漸減小。本發明采用多組金剛石鋸絲切割網面依次切割硅片的方法,將硅片的切割、精磨和拋光分工序由不同性質的金剛石鋸絲按不同的運行參數完成,以獲得更高的硅材料利用率,滿足切割線縫越來越窄、硅片切割朝更薄發展的要求。
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