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鈦基摻硼金剛石涂層電極的制備方法

關鍵詞 金剛石涂層電極 , 制備方法 , 鈦基鍍層 , 原創|2012-03-01 15:13:43|行業專利|來源 中國超硬材料網
摘要 申請人:南京航空航天大學專利號:CN102242374A一種鈦基摻硼金剛石涂層電極的制備方法,它是通過在基底材料上濺射過渡層,再在此基礎上CVD法沉積摻

       申請人:南京航空航天大學

       專利號:CN102242374A

       一種鈦基摻硼金剛石涂層電極的制備方法,它是通過在基底材料上濺射過渡層,再在此基礎上CVD法沉積摻硼金剛石涂層來實現的。由基材、過渡層和金剛石層構成的電極,其特征在于所述的基材為鈦,過渡層為通過磁控濺射的鈮或鉭,CVD工藝中使用摻硼濃度為6000-10000ppm。本發明提供了長壽、高電解率的BDD電極的制備方法,它具有成本低,高重復性的優點。

 

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