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在沿<1100>方向切割的基片上生長的碳化硅外延層

關鍵詞 碳化硅外延層 |2010-12-24 00:00:00|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱在沿方向切割的基片上生長的碳化硅外延層公開號1377311公開日2002.10.30主分類號

 

名稱 在沿<1100>方向切割的基片上生長的碳化硅外延層 
公開號 1377311  公開日 2002.10.30   
主分類號 B32B7/00  分類號 B32B7/00;B32B9/00;B32B18/00;C03B25/02;C01B31/36 
申請?zhí)?/strong> 00809431.4   
分案原申請?zhí)?/strong>   申請日 2000.06.01   
頒證日   優(yōu)先權 1999.6.24__US_09/339,510 
申請人 高級技術材料公司    地址 美國康涅狄格州  
發(fā)明人 巴巴拉·E·蘭迪尼;喬治·R·布蘭德斯;邁克爾·A·蒂?  國際申請 PCT/US00/15155 2000.6.1 
國際公布 WO00/79570 英 2000.12.28  進入國家日期 2001.12.24  
專利代理機構 中原信達知識產權代理有限責任公司    代理人 王維玉;丁業(yè)平   
摘要   一種碳化硅外延膜,其生長在六方晶體形式的SiC晶體基片的切 ;基片晶向約6度到約10度的切割角。所得的碳化硅外延膜具有優(yōu)良的形態(tài)和材料性能。
 

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日期 2010-12-23   行業(yè)專利
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