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射頻功率碳化硅場效應晶體管的互連方法和器件

關鍵詞 碳化硅場效應晶體管|2010-12-24 00:00:00|行業專利|來源 中國超硬材料網
摘要 名稱射頻功率碳化硅場效應晶體管的互連方法和器件公開號1359535公開日2002.07.17主分類號H01L21/6

 

名稱 射頻功率碳化硅場效應晶體管的互連方法和器件 
公開號 1359535  公開日 2002.07.17   
主分類號 H01L21/60  分類號 H01L21/60;H01L23/49 
申請號 99812144.4   
分案原申請號   申請日 1999.09.23 
頒證日   優先權 1998.10.13_SE_9803485-3 
申請人 艾利森電話股份有限公司    地址 瑞典斯德哥爾摩  
發明人 A·利特溫;T·約翰松    國際申請 PCT/SE99/01670 1999.9.23 
國際公布 WO00/22666 英 2000.4.20  進入國家日期 2001.04.13  
專利代理機構 中國專利代理(香港)有限公司    代理人 王勇;李亞非   
摘要   本發明涉及到用來互連射頻功率SiC場效應晶體管的方法和器件。為了改善寄生源電感,利用了晶體管的小尺寸,其中鍵合焊點被置于管芯的二個側面上,使大多數源鍵合引線(6)垂直于柵和漏鍵合引線(7,8)走線。多個鍵合引線可以被連接到源鍵合焊點,降低了源電感。由于正交引線安排造成源/柵之間和源/漏之間互感降低,故這種安排還帶來額外的優點。 
 

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日期 2010-12-24   行業專利
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