摘要 名稱射頻功率碳化硅場效應晶體管的互連方法和器件公開號1359535公開日2002.07.17主分類號H01L21/6
名稱 | 射頻功率碳化硅場效應晶體管的互連方法和器件 | ||
公開號 | 1359535 | 公開日 | 2002.07.17 |
主分類號 | H01L21/60 | 分類號 | H01L21/60;H01L23/49 |
申請號 | 99812144.4 | ||
分案原申請號 | 申請日 | 1999.09.23 | |
頒證日 | 優先權 | 1998.10.13_SE_9803485-3 | |
申請人 | 艾利森電話股份有限公司 | 地址 | 瑞典斯德哥爾摩 |
發明人 | A·利特溫;T·約翰松 | 國際申請 | PCT/SE99/01670 1999.9.23 |
國際公布 | WO00/22666 英 2000.4.20 | 進入國家日期 | 2001.04.13 |
專利代理機構 | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 王勇;李亞非 |
摘要 | 本發明涉及到用來互連射頻功率SiC場效應晶體管的方法和器件。為了改善寄生源電感,利用了晶體管的小尺寸,其中鍵合焊點被置于管芯的二個側面上,使大多數源鍵合引線(6)垂直于柵和漏鍵合引線(7,8)走線。多個鍵合引線可以被連接到源鍵合焊點,降低了源電感。由于正交引線安排造成源/柵之間和源/漏之間互感降低,故這種安排還帶來額外的優點。 |