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制造無裂紋碳化硅擴散元件的方法

關鍵詞 無裂紋碳化硅 , 擴散元件|2010-12-23 00:00:00|行業專利|來源 中國超硬材料網
摘要 名稱制造無裂紋碳化硅擴散元件的方法公開號1232440公開日1999.10.20主分類號C04B35/573&nbs

 

名稱 制造無裂紋碳化硅擴散元件的方法 
公開號 1232440  公開日 1999.10.20   
主分類號 C04B35/573  分類號 C04B35/573 
申請號 97198553.7 
分案原申請號   申請日 1997.10.03   
頒證日   優先權 [32]1996.10.4[33]US[31]08/725,717 
申請人 圣戈本工業陶瓷股份有限公司  地址 美國馬薩諸塞州 
發明人 S·戴南; J·欣德; J·韋達  國際申請 PCT/US97/18033 97.10.3 
國際公布 WO98/14411 英 98.4.9  進入國家日期 1999.04.05  
專利代理機構 上海專利商標事務所  代理人 林蘊和   
摘要   本發明涉及制造無裂紋燒結碳化硅體的方法,它包括下列步驟:a)提供原料粉末,包含i)至少40%(重量)粒度小于10微米的細顆粒級分,該細顆粒級分包含碳化硅;ii)至少40%(重量)粒度至少為30微米的粗顆粒級分,該粗顆粒級分包含碳化硅和小于0.1%(重量)的游離碳,該批原料粉末的二氧化硅總含量至少為0.5%(重量),碳化硅總含量至少為96%(重量);b)將原料粉末成形為坯體,和b)將坯體進行重結晶熱處理,提供密度在2.0—2.8g/cc之間的重結晶碳化硅體。 
 

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