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用于沉積大面積金剛石膜的燈絲排布固定裝置

關鍵詞 金剛石膜 , 燈絲排布 , 固定裝置 |2010-12-22 00:00:00|行業專利|來源 中國超硬材料網
摘要 名稱用于沉積大面積金剛石膜的燈絲排布固定裝置公開號2325390公開日1999.06.23主分類號C04B41/00

 

名稱 用于沉積大面積金剛石膜的燈絲排布固定裝置 
公開號 2325390  公開日 1999.06.23   
主分類號 C04B41/00  分類號 C04B41/00 
申請號 98214049.5 
分案原申請號   申請日 1998.05.15   
頒證日 1999.05.26    優先權  
申請人 吉林大學    地址 130023吉林省長春市解放大路123號  
發明人 呂憲義; 金曾孫; 姜志剛; 鄒廣田    國際申請  
國際公布   進入國家日期  
專利代理機構 吉林大學專利事務所    代理人 王恩遠; 崔麗娟   
摘要   本實用新型屬沉積大面積金剛石膜用的燈絲排布固定裝置。由支腿(3)和橫在兩支腿上的燈絲固定器(2)構成支架,支架內是空心連通的,直熱燈絲(1)排布成柵狀,繞過燈絲固定器(2)下底面聯接彈簧(9)再掛在燈絲掛板(4)上。鎢桿調節塊(6)和調節螺釘(7)可使鎢桿(8)在鎢桿調節塊的長孔內前后移動,本實用新型具有燈絲平整熱場均勻、電接觸良好、銅制的支架不粘附沉積物等特點,結構簡單、使用方便、工作穩定、特別適合長時間使用制備大面積金剛石膜。
 

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