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金剛石線鋸切割單晶硅表面缺陷與鋸絲磨損分析

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黃波1,2高玉飛1,2葛培琪1,21.山東大學(xué)機械工程學(xué)院2.高效潔凈機械制造教育部重點實驗室摘要:采用電鍍金剛石線鋸對單晶硅進(jìn)行了鋸切實驗,使用掃描電子顯微鏡對單晶硅...

日期 2012-04-24   
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