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基于有限元法的硅片冰凍固結磨料拋光溫度場分析

摘要本文分析了低溫固結磨料拋光硅片的傳熱模型,并借助有限元軟件ANSYS對熱傳導過程進行了仿真,獲得了冰凍磨具在不同拋光時刻的溫度場等溫圖及工作區域的融化厚度值。并且在...

日期 2010-01-27   
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