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日本先進工業科學與技術研究院:拼接法單晶金剛石襯底上HFCVD硼摻雜外延層的水平和垂直方向均勻性研究

金剛石因優異的物理、電子性能而在功率電子器件和量子技術領域里表現出誘人的應用前景。想要實現這些應用,需要表面平整、內部沒有嚴重晶體缺陷的本體材料和缺陷數量可控的高質量外...

日期 2022-06-07   
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